Doğru projelendirilmiş özel gaz dağıtım sistemleri yatırımı, işletmelere mikro gözeneklerden kaynaklanan kirlenmeleri ve plansız duruş sürelerini bütünüyle elimine eden güçlü bir değer önerisi sunar. Gaz hatlarında kullanılan entegre pnömatik acil kapatma vanaları (ESD) ve akıllı debi sınırlayıcı enstrümanlar sayesinde, anlık sızıntı durumlarında hatlar milisaniyeler içinde bloke edilerek iş güvenliği regülasyonlarına tam uyum yakalanır. Bu üstün mekanik kararlılık, downstream reaktörlerinin moleküler ömrünü uzatır, hammadde israfını engeller, kompresör yüklerini hafifleterek operasyonel enerji tasarrufu ve sürdürülebilir uç ürün kalitesi sağlar.
Tesisinizin proses dinamiklerine uygun hidrolik boru çapı hesaplamalarının yapılması, gaz kombinasyonlarına göre otomatik purge çevrim otomasyonunun kurgulanması ve izometrik şema çizimleri için uzman ekibimizle hemen iletişime geçin. Fabrikanıza en uygun UHP gaz dağıtım ve güvenlik yerleşim planını oluşturmak, emniyet valfi deşarj kapasitelerini hesaplamak ve kapsamlı sahada teknik keşif çalışmalarını başlatmak üzere Mitan mühendislik çözümlerinden yararlanın.
Yarı İletken ve Özel Gaz Karışımları Tedariği ile Ultra Yüksek Saflıkta Akış Yönetimi
Elektronik, fotonika ve yarı iletken wafer fabrikasyon hatlarında kullanılan silan (SiH4), fosfin (PH3) ve bor triklorür (BCl3) gibi piroforik, toksik veya korozif akışkanların yönetiminde bilye partikülleri veya mikro nem sızıntıları üretimi tamamen durdurmaktadır.. Gaz moleküllerinin parça milyarda bir (ppb) düzeyindeki saflık sapmaları ya da kontrolsüz regülasyon şokları, hassas kimyasal buhar biriktirme (CVD) ve aşındırma proseslerinde kristal kafes hatalarına yol açar. Fabrika müdürlerinin ve başmühendislerin karşılaştığı bu donanımsal kirlilik ve sızdırmazlık risklerini sıfırlamak, tesis içi proses kararlılığını sürdürmek adına yörüngesel kaynaklı ve elektro-polisajlı akış şebekelerinin konumlandırılması yapısal bir zorunluluktur.
Mitan olarak, mikroelektronik üretim hatlarının bu tavizsiz saflık ve emniyet taleplerini karşılamak amacıyla uluslararası standartlarda yarı iletken ve özel gaz karışımları tedariği altyapıları geliştiriyoruz. SEMI standartlarına, ASME B31.3 High Purity ve ATEX ex-proof mevzuatlarına tam uyumlu konfigüre edilen çözümlerimiz; Ultra High Purity (UHP) otomatik gaz kabinleri, vana manifold panelleri (VMP) ve gaz paneli entegrasyonlarını kapsar. İç yüzey pürüzlülüğü Ra <= 0.25 µm seviyesinde olan ostenitik paslanmaz çelik bileşenlerle tasarlanan ultra yüksek saflıkta akış kontrolü sistemlerimiz, fabrikasyon aşamasında helyum leak dedektörleriyle 10^-11 mbar l/s sınırında test edilerek teslim edilir.
