Yonga fabrikasyon tesislerinde, epitaksiyel büyüme ve iyon implantasyon hatlarında difüzyon kararlılığını sağlamanın önündeki en büyük operasyonel engel, aşırı toksik ve kararsız gaz matrislerinin yönetimidir. Arsin ve fosfin gibi hidrit yapılı akışkanların enstrümantasyon hatlarındaki mikro sıcaklık değişimleri veya basınç şokları karşisinde dekompoze olması, sub-ppm seviyesindeki doping konsantrasyonunu bozarak tüm silisyum pul serisinin fireye ayrılmasına yol açar. Tesis yöneticileri ve otomasyon mühendisleri için bu yüksek riskli molekülleri sıfır kaçak toleransıyla prosese iletmek, downstream reaktör emniyetini ve homojen elektriksel iletkenliği korumak adına tavizsiz bir zorunluluktur.

Mitan olarak, yarı iletken endüstrisinin bu ekstrem güvenlik ve ultra yüksek saflık kriterlerine yanıt vermek adına anahtar teslim arsin ash3 ve fosfin ph3 doping gazları yönetim sistemleri kuruyoruz. SEMI standartlarına ve tehlikeli gaz direktiflerine tam uyumlu yapılandırdığımız altyapılarımız; otomatik azot süpürme modüllerine, kütlesel akış kontrolörlerine ve entegre toksik gaz algılama sensörlerine sahiptir. Fitok kalitesindeki VCR metal conta bağlantı elemanlarını ve elektropolisajlı iç cidar bileşenlerini orbital kaynak işçiliğimizle birleştirerek, tehlikeli yarı iletken doping gazları transfer hatlarını mutlak kontrol altında tutuyoruz.