Aşındırma (Dağlama) Gazları: Karbon Tetraflorür (CF4) ve Azot Triflorür (NF3)
- /
- Yarı İletken ve Özel Gaz Karışımları Tedariği
- /
- Aşındırma Gazları
Proses hatlarına özel projelendirilen bu yarı iletken özel gaz altyapıları yatırımı, işletmelere mikro gözenek kirlenmelerini ve çapraz kontaminasyon bariyerlerini tamamen ortadan kaldıran güçlü bir B2B değer önerisi sunar. Kabin içi entegre edilen otonom ağırlık transmiterleri ve toksik gaz algılama sensörleri sayesinde, silindir değişim periyotlarında hat içi gaz kaçak riskleri milisaniyeler düzeyinde bloke edilerek iş güvenliği regülasyonlarına tam uyum yakalanır. Bu kararlı mekanik mimari, downstream reaktörlerinin moleküler ömrünü uzatır, hammadde israfını sıfırlar ve operasyonel enerji tasarrufu sağlar.
Tesisinizin üretim hacmine ve plazma reaktör mimarinize en uygun hidrolik akış şemalarının hazırlanması, gaz kombinasyonlarına göre otonom vana matrislerinin tasarlanması ve izometrik şema çizimleri için Mitan mühendislik birikimine güvenebilirsiniz. Fabrikanızın spesifik debi, saflık derecesi ve çalışma basıncı ihtiyaçlarını en optimize seviyede karşılayacak teknik enstrümantasyon planlamasını gerçekleştirmek, kapasite simülasyonlarını hazırlamak ve sahada teknik keşif çalışmalarını başlatmak üzere uzman kadromuzla doğrudan iletişime geçebilirsiniz.
Aşındırma Gazları Dağıtım Sistemleri ile Yarı İletken Proses Güvenliği
Mikroelektronik ve fotonik fabrikasyon tesislerindeki kuru plazma aşındırma ile PECVD reaktör temizliği proseslerinde karbon tetraflorür (CF4) ve azot triflorür (NF3) akışkanlarının transferi, ekstrem metalurjik zorlukları beraberinde getirmektedir. Radyo frekansı plazma altında flor radikallerine ayrışan bu gazların ultra yüksek saflık hatlarında parça milyarda bir düzeyinde dahi nemle temas etmesi, agresif asit oluşumunu tetikleyerek hat içi korozyonu hızlandırır. Başmühendislerin karşılaştığı bu metalurjik aşınmalar, kütlesel akış kontrolörlerinde kalibrasyon kaymalarına, sızdırmazlık zafiyetlerine ve wafer üretim döngülerinde telafisi imkansız mikropartikül kontaminasyonlarına yol açmaktadır.
Mitan, yarı iletken fabrikasyon hatlarının bu sıfır toleranslı operasyonel parametrelerini güvenceye almak amacıyla ileri akış kontrol standartlarında aşındırma gazları dağıtım sistemleri geliştirmektedir. SEMI standartlarına, ASME B31.3 High Purity normlarına ve ATEX ex-proof direktiflerine tam uyumlu olarak mühendisliği yapılan çözümlerimiz; otomatik süpürme döngülü ultra yüksek saflık gaz kabinlerini, gaz paneli enstrümantasyonunu ve akıllı manifold bloklarını kapsar. İç yüzey kalitesi elektro-polisaj yöntemiyle pürüzsüzleştirilmiş paslanmaz çelik bileşenler kullanan altyapılarımız, fabrikasyon aşamasında helyum leak dedektörleriyle test edilerek sahaya sevk edilmektedir
